Sécherheet am ganze Beräich, integréierten Demonstrateur, Villfältegkeet beim Oplueden

Kierper Dimensiounen

Kombinéiert Genauegkeet

Navigatiounsmethoden

Plattformbelaaschtungen

Applikatioun Aféierung
* Automatiséiert Materialhandhabung bei Hallefleitendraadkanten
* Gëeegent fir Prozesser mat lockere Produktioun kreesleef
* Gëeegent fir eenzel Material Flow Situatiounen
* Et ass gëeegent fir de Flux vu Leit um Buedem a Material Handhabung ouni Restriktiounen
* Gëeegent fir Buttek Buedem Equipement ass net fix an Ënnerstëtzung Layout änneren
* Gëllt fir Wafer Test BG WS DB WB Finale TEST
* Konformitéit mam Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard an ESD Standards
Opluedstatiounen System
Single Batterie Gare
| Stockage Quantitéit | 1/2 bin + 1 änneren bin |
| Clean Class | Klass 1K |
| Kontroll System | PLC |
| Daten System | BCMS (optional) |
| Batterie Ersatz Zäit | 3 Minutt |

Batteriestatioun
| Stockage Quantitéit | ≥5 Poschen |
| Clean Class | Klass 1K |
| Kontroll System | PLC |
| Daten System | BCMS |
| Batterie Ersatz Zäit | 4 Minutten |

Batterie Gestioun System



Applikatioun Aféierung
* Automatiséiert Materialhandhabung bei der Halbleiterproduktioun
* Et ass gëeegent fir kuerz Zyklus Zäiten a Multiple kombinéiert Produktioun Situatiounen
* Et ass gëeegent fir Punkt-zu-Punkt Handhabung mat grousse Volumen, schwéier Gewiicht a gerénger Dockingsgenauegkeet
* Gëeegent fir OVEN, Burn in, Rack Kuerf, Box Carrier
* Entsprécht Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard an ESD Standards
Applicatioun

Wafer poléieren an Transport

SMT MGZ Luede an Ausluede

OVEN Luede an Ausluede

E-Rack Transshipment




Block 4. No.358 Jinhu Road, Pudong Distrikt, Shanghai, China